6. 摻雜氣體(Dopant Gases)：在半導體器件和集成(cheng)電路制造(zao)中, 將某(mou)種或某(mou)些雜質摻(chan)入半導(dao)體材料內, 以使材料具有所(suo)需要的導電類型(xing)和一定的電阻率, 用來(lai)制(zhi)造PN結、電(dian)阻、埋(mai)層等。摻(chan)雜工藝(yi)所用的(de)氣(qi)體(ti)摻(chan)雜源被稱為摻(chan)雜氣(qi)體(ti)。主要包(bao)括砷烷、磷(lin)(lin)烷、三(san)氟(fu)化(hua)磷(lin)(lin)、五(wu)(wu)氟(fu)化(hua)磷(lin)(lin)、三(san)氟(fu)化(hua)砷、五(wu)(wu)氟(fu)化(hua)砷、三(san)氯(lv)化(hua)硼和(he)乙硼烷等。通(tong)常(chang)將摻(chan)雜源與運載氣(qi)體(ti)(如(ru)氬氣和氮(dan)氣) 在(zai)源(yuan)柜(ju)中混合, 混合后氣(qi)流(liu)連續流(liu)入擴(kuo)散爐(lu)內環繞晶片四(si)周, 在晶(jing)片表面沉積(ji)上化合(he)物摻雜(za)劑, 進而與硅反應生成摻雜(za)金屬而徙動進入硅。

        7. 熏蒸氣體(ti)(ti)(Sterilizing Gases) ：具有(you)殺菌(jun)作用(yong)的(de)氣體(ti)(ti)稱(cheng)熏蒸氣體(ti)(ti)。常用(yong)的(de)氣體(ti)(ti)品種有(you)環(huan)氧乙烷(wan)、磷(lin)烷(wan)、溴(xiu)甲(jia)烷(wan)、溴(xiu)甲(jia)醛、環(huan)氧丙烷(wan)等(deng)。其(qi)滅菌(jun)原理是利(li)用(yong)烷(wan)化作用(yong), 使微(wei)生物(wu)組織(zhi)內維持(chi)生命(ming)不可缺少的(de)物(wu)質惰(duo)化。最(zui)經常使用的(de)是(shi)以不同比例配制的(de)環氧(yang)乙烷和二氧(yang)化碳的(de)混合氣, 根據用途(tu)不同, 環氧(yang)乙烷的(de)含量可以是(shi)10%、20%和(he)30%等(deng)。也可采用環(huan)氧乙烷和氟利昂12的(de)混合氣(qi),環氧乙烷與氟利昂11和氟(fu)利昂12的混合氣(qi)等(deng)。殺菌效果與各組(zu)分濃度、溫度、濕(shi)度、時(shi)間和壓力等(deng)因素有(you)關。熏蒸氣(qi)體可以用于(yu)衛生材料(liao)、醫療器具、化(hua)妝品原(yuan)料(liao)、動(dong)物飼料(liao)、糧食、紙鈔(chao)、香辣
 

          8. 焊(han)接保護氣體(Welding Gases)：氣體(ti)保護焊(han)由于(yu)具有焊(han)接質量好(hao), 效率高, 易實現自動(dong)化等(deng)優(you)點而得以迅速發展。焊接保護(hu)氣體可以是單(dan)元氣體, 也有二元(yuan)、三元(yuan)混合氣。采用(yong)焊接保(bao)護氣的(de)目的(de)在于提高焊縫(feng)質量(liang), 減少(shao)焊縫加熱作用帶寬度, 避免材質氧化。單元氣體(ti)有(you)氬氣、二氧化碳, 二(er)元(yuan)混合氣有氬和氧, 氬和二氧化(hua)碳, 氬(ya)和氦(hai), 氬和(he)氫混(hun)(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)。三元混(hun)(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)有氦(hai)、氬、二(er)氧化碳(tan)混(hun)(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)。應用(yong)中視焊(han)材不同選擇不同配(pei)比(bi)的(de)焊(han)接(jie)混(hun)(hun)合(he)(he)氣(qi)(qi)。

        9. 離(li)子(zi)注入(ru)氣( Gases for IonImplantation)：離(li)(li)子注入(ru)是把離(li)(li)子化的雜(za)質(zhi), 例如P + 、B + 、As+加速到高能(neng)量狀態,然后(hou)注入(ru)到預定的襯底上。離子注入(ru)技術在(zai)控制Vth(閾(yu)值電(dian)壓) 方面(mian)應用得(de)最為廣泛。注(zhu)入的雜質(zhi)量可通過(guo)測(ce)量離子束(shu)電(dian)流而求得(de)。離子注(zhu)入工藝(yi)所用氣體(ti)稱離子注(zhu)入氣, 有磷系(xi)、硼系(xi)和砷系(xi)氣體。

 ;       10. 非液化氣(qi)體(Nonliquefied Gases)：壓縮氣(qi)體依(yi)據于一定壓力和溫度(du)下(xia)在(zai)氣(qi)瓶中的物理狀態(tai)和沸點(dian)范圍可以區分為兩大類, 即(ji)液化氣體和非液化氣體。非液化氣體系指除溶解在溶液中的(de)氣體之外, 在2111℃和(he)罐(guan)裝壓力(li)下完全是氣態的氣體(ti)(ti)。也可定(ding)義為在正常地面溫度和(he)13789～17237kPa 壓力下不液化的氣(qi)體。