Ar，純(chun)氬(ya)純(chun)度為99.9%，高純(chun)氬(ya)純(chun)
度為99.999%，塵埃(ai)(φ≥0.5μm)≤3.5粒/
升。氬是空氣中含量(liang)最多的一種稀有氣體(ti)，無
色無(wu)臭(chou)，不助燃，無(wu)毒。純氬可用低(di)溫精餾
法制取，純氬經銅爐高溫除(chu)(chu)氧、硅(gui)膠干燥除(chu)(chu)
水(shui)、再經(jing)除氮塔進一步精餾除氮便得
99.999%的高純氬。純氬可配(pei)制特(te)種(zhong)混合(he)氣(qi)
和工業混合氣(qi)如電光源混合氣(qi)等。高純(chun)氬(ya)作
為保護氣(qi)和運載(zai)氣(qi)主要用于電子工(gong)業中半導(dao)
體鍺、硅等的精煉和單晶硅的制(zhi)備。
